[发明专利]一种独立式高温超导薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111156757.6 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN113838965A 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 王莹;谢忠洲;李钟昊;逯浩 申请(专利权)人: 上海电力大学
主分类号: H01L39/24 分类号: H01L39/24
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 李新新
地址: 200090 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种独立式高温超导薄膜的制备方法,具体包括以下步骤:(1)取衬底,在衬底上采用Sr3Al2O6陶瓷靶材沉积牺牲层,所述牺牲层的材质为Sr3Al2O6;(2)采用GdBa2Cu3O7陶瓷靶材继续在牺牲层上沉积高温超导薄膜,得到衬底/SAO/GBCO复合结构,所述高温超导薄膜的材质为GdBa2Cu3O7‑x;(3)沉积完成后,将步骤(2)得到的衬底/SAO/GBCO复合结构置于纯氧中进行吸氧处理,使高温超导薄膜充分吸氧;(4)吸氧完成后,取出衬底/SAO/GBCO复合结构浸入水中,待牺牲层溶解后高温超导薄膜从衬底上释放,即得到独立式高温超导薄膜。与现有技术相比,本发明制得的高温超导薄膜不仅为独立式且结构良好,有机会结合到各种复合材料结构中,拓展了应用范围,降低了应用成本。
搜索关键词: 一种 立式 高温 超导 薄膜 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海电力大学,未经上海电力大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111156757.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top