[发明专利]一种表面清洁度测试装置和测试方法在审
| 申请号： | 202111150062.7 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113804589A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 施语辰 | 申请（专利权）人： | 上海梭伦信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/02 | 分类号： | G01N13/02;G01N21/94 |
| 代理公司： | 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 | 代理人： | 牟俊玲 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面清洁度测试装置和测试方法，属于半导体及晶圆、OLED等高精密加工领域的技术领域。它包括背景光源、同向光源、支架、同轴环形光源、棱镜、棱镜固定支架、液滴、被测试样品和成像系统，棱镜通过顶丝固定螺丝固定到棱镜固定支架上。通过顶视、侧视多视角的同一图像中成像，实现了UV分析、红外分析、表面结构分析、3D接触角分析的有效组合测量，对于评估固体材料的物理化学性质，特别是对于客观存在的表面粗糙度、化学多样性和表面结构导致的表面清洁度误判的解决，提高表面清洁度测试的精度和可靠性，均具有极大提升，在半导体、晶圆、硅片、新材料研究、仿生材料等行业具有非常高的作用，具有极高的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 清洁 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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