[发明专利]一种单晶电磁场冷却测温机构在审
| 申请号： | 202111130053.1 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN113782306A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 卢秉钊;张晓光;陈国帅;蒙建华 | 申请（专利权）人： | 抚顺赛瑞特环保科技有限公司 |
| 主分类号： | H01F27/12 | 分类号： | H01F27/12;H01F27/10;H01F27/40;H01F7/06;C30B29/06;C30B35/00;G01K13/00 |
| 代理公司： | 沈阳一诺君科知识产权代理事务所(普通合伙) 21266 | 代理人： | 王建男 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体单晶硅生产设备领域，一种单晶电磁场冷却测温机构，用于对单晶电磁场励磁线圈降温，其中进油管连接在油泵的进油端，连接软管的第一端连接在油泵的出油端，所述板式换热器具有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，在板式换热器中具有液体流动管路，且在板式换热器内第一接口为油介质输入口，第二接口为油介质输出口，第三接口为冷却液输入口，第四接口为冷却液输出口；油泵驱动油介质由第一接口进入板式换热器后，经过与流经板式换热器的冷却液换热后从第二接口排出板式换热器，以完成换热。该机构可对单晶电磁场设备使用的油介质温度进行检测，同时通过对油介质温度调节从而对单晶电磁场励磁线圈温度进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁场 冷却 测温 机构 | ||
【主权项】：
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