[发明专利]基于色散元件的多角度全内反射照明成像装置在审
申请号: | 202111122760.6 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN113985592A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 刘辰光;刘俭;肖钰儒;陈刚 | 申请(专利权)人: | 江苏锐精光电研究院有限公司;哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B21/33;G01N21/84 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 符继超 |
地址: | 211300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于色散元件的多角度全内反射照明成像装置,包括照明分光模块、物镜型TIR模块、成像分光模块。利用反射式色散元件对宽光谱平行光束进行分光,不同波长平行光在消色差透镜作用下聚焦到高数值孔径浸油物镜后焦面不同位置,可以得到穿透深度随波长变化的倏逝场,实现穿透深度的调控。在成像光路中,该发明加入了凹面衍射光栅单独提取不同的穿透深度照明下的成像结果,实现多角度全内反射成像。该发明为多角度全内反射成像装置,相比于传统的物镜型多角度全内反射成像装置,该方法成像速度快,并且能够在全内反射成像的同时进行散射光谱分析。 | ||
搜索关键词: | 基于 色散 元件 角度 反射 照明 成像 装置 | ||
【主权项】:
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