[发明专利]一种三维纳米通孔的制造方法在审
| 申请号： | 202111112640.8 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113805433A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张琛;刘紫涵;侯嘉庆;白晋涛 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 韩迎之 |
| 地址： | 710127 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维纳米通孔的制造方法，属于光刻技术领域，通过激光直写结合可调控空间结构光，能够直接制造直径＜100nm的三维纳米通孔，实现了一种纳米孔直径可控的三维纳米通孔制造方法。本发明制造方法过程简单，成本低廉，制造周期短，能实现纳米通孔的可控制造，可以为微纳流控、生物医学、仿生功能材料等领域的研究提供有效解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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