[发明专利]一种热阴极组件、真空虚拟阴极自动测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种热阴极组件、真空虚拟阴极自动测量装置及方法，包括：电子收集极，所述电子收集极为中空的金属结构，所述金属结构上设有一开口，绝缘支架底端穿过所述开口并深入到电子收集极内部；所述绝缘支架底端连接热阴极灯丝；所述热阴极灯丝的两端分别与灯丝导线连接，所述灯丝导线穿过绝缘支架并引出到电子收集极外部；电子收集极的外部包围绝缘层，所述绝缘层和绝缘支架通过绝缘连接固件连接，能够使得电子收集极外部形成封闭的绝缘结构。本发明虚拟阴极由热阴极灯丝产生，而灯丝的加热电流由软件程序控制数据采集卡自动输出，因而该装置中的虚拟阴极是可控可变的。