[发明专利]用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法及温度测量装置在审
| 申请号： | 202111093219.7 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113899221A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 曾裕民;万喜新;周益华;王学仕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | F27D21/00 | 分类号： | F27D21/00;F27D19/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 戴玲 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法及装置，方法包括：将热偶从氧化炉底部的热偶穿孔伸入炉内，并竖向向上移动使热偶的顶部靠近炉顶；将氧化炉下方的升降机构上的热偶座上升至上端极限位置，再将热偶的底部安装在热偶座上；升降机构带着热偶座从上端极限位置匀速移动至下端极限位置，与此同时，控制器实时采集热偶的测量值，获得炉内竖向方向的温度曲线。装置，包括支架、升降机构、热偶座和热偶，热偶竖向设置且底部可拆卸的安装在热偶座上。本发明热偶可沿炉体竖直方向匀速移动，并实时检测反馈炉体内的温度，实现对氧化工艺中温度的精确测量和均匀性控制，提高了立式氧化炉恒温区的温度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 立式 氧化 恒温 温度 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111093219.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
