[发明专利]界面应力调控/增强自驱动柔性气体传感器灵敏度的方法有效
| 申请号： | 202111091312.4 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113834862B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 苏元捷;陈春旭;谢光忠;娄永胜;潘虹;刘佳;太惠玲;黎威志;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H10N30/30;H10N30/06;H10N30/87 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种界面应力调控/增强自驱动柔性气体传感器灵敏度的方法，涉及压电效应、光电效应、半导体特性、导电聚合物材料领域。所述自驱动柔性气体传感器包括自下而上依次设置的柔性基底、下电极、p型窄带隙半导体层、气敏层和上电极，通过弯曲使自驱动柔性气体传感器产生形变，进而调控气体传感器的灵敏度。本发明自驱动柔性气体传感器制备工艺简单，用于调控增强传感器灵敏度的形变条件易于实现，能够进一步拓展气体传感器在自然环境中高效利用太阳能转换成光电流以持续自主地检测目标气体。 | ||
| 搜索关键词： | 界面 应力 调控 增强 驱动 柔性 气体 传感器 灵敏度 方法 | ||
【主权项】：
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