[发明专利]一种TiSiCN纳米复合涂层、沉积装置、制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202111089623.7 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113832440A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 欧伊翔;王浩琦;程锋利 | 申请（专利权）人： | 苏帕斯达（苏州）纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 苏州汇智联科知识产权代理有限公司 32535 | 代理人： | 李秀娟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TiSiCN纳米复合涂层、沉积装置、制备方法及其应用，涉及表面涂层强化领域，包括过渡层和复合涂层；其中，过渡层厚度为10nm‑200nm，过渡层由由钛元素、铬元素和镍元素其中一种组成；复合涂层厚度为0.1μm‑3μm，复合涂层由如下百分比的成分组成：硅2％‑10％，钛20％‑45％，氮10％‑30％，其余为碳，制备过程包括：样品预处理、样品安装、抽真空、通入氩气、样品表面活化、过渡层制备、通入气体、制备复合涂层。本发明从提高硬质、超硬涂层的韧性角度出发，通过特殊的沉积工艺在切削刀具表面沉积具有超硬且韧特性的TiSiCN纳米复合涂层，以解决硬质涂层切削刀具涂层脱落、非均匀磨损的问题，此结构的涂层可以显著提高切削刀具的使用寿命，提高刀具应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tisicn 纳米 复合 涂层 沉积 装置 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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