[发明专利]一种气体与压力复合传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111064418.5 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113776592A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 谢贵久;曾庆平;丁玎;何峰;张浩;金忠;宋轶佶 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体与压力复合传感器及其制备方法，此传感器包括基片和键合片，所述基片的正面设有P型掺杂区，所述基片正面的预定区域淀积有气敏电阻、测温电阻和加热电阻，所述基片的背面制备有应变腔体，所述应变腔体的位置与基片正面的预定区域相对应，且应变腔体正对预定区域处设置有应变薄膜；所述基片的背面与键合片键合，形成真空应变腔体。本发明具有集成度高、体积小、测量精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 压力 复合 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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