[发明专利]一种高离子电导率氧化物固态电解质薄膜的制备方法

摘要

本发明公开一种高离子电导率氧化物固态电解质薄膜的制备方法，其包括步骤：提供LixLayTiO3陶瓷靶材，其中0.2≤x≤0.6，0.4≤y≤0.8；通过磁控溅射方式将LixLayTiO3陶瓷靶材制成第一LixLayTiO3固态电解质薄膜；将第一LixLayTiO3固态电解质薄膜进行快速退火处理，得到LixLayTiO3固态电解质薄膜。本发明制备得到具有高离子电导率的500nm‑2μm厚度的LixLayTiO3固态电解质薄膜，其结构致密均匀。且该固态电解质薄膜，其在20～140℃环境下均表现出良好的结构与性能稳定性，离子电导率为10‑7～10‑4S/cm，满足全固态电池用固态电解质的要求。