[发明专利]一种控制硅烷上线的方法制备方法在审
| 申请号： | 202111056684.3 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113685724A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 郭海涛 | 申请（专利权）人： | 天合光能（宿迁）光电有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/04 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制硅烷上线的方法，涉及特殊气体技术领域，包括三通阀、ISO管束气动阀、莲花盘气源以及手动气源控制所述三通阀用于对硅烷气体在ISO管束气动阀和莲花盘气源进行通气，所述ISO管束气动阀用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出，所述莲花盘气源用于对管路中的压力进行控制。本发明手动控制压力提升，对系统的安全有好的控制作用，使用三通阀及软管，将莲花盘接口接至三通一侧，将ISO车气动阀管路接到三通一侧，系统通气，由于压力较高(120kg)手动控制将ISO车管束内阀门缓慢打开，实时检测管道内压力，逐步提升，解决了系统冲压的危险，保护各阀门的状态，使阀门得到了缓冲；更好的控制整个系统的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 硅烷 上线 方法 制备 | ||
【主权项】：
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