[发明专利]基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法有效
| 申请号： | 202111051232.6 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113847882B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;王云涛;马海颖;张正宇;陈佳;郑东晖;胡晨辉;马致遥;黄晨;张喆;李若琨;胡志豪 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/16;G01N21/45 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法，包括：设置3个大口径光学平晶，初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A，平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C，平晶Ⅲ的工作面为D，平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜；进行六次测量；利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量，利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性，补偿两种因素在测量中的影响；利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项；利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项；得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响，而且能够保证各自面形在所有频率的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 重力 变形 折射率 均匀 补偿 口径 立式 绝对 检验 方法 | ||
【主权项】：
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