[发明专利]用于微加工超声换能器的电接触布置有效
| 申请号： | 202111049509.1 | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN113857023B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·M·罗思伯格;苏珊·A·阿列;热姆·斯科特·扎霍里安;保罗·弗朗西斯·克里斯特曼;基思·G·菲费 | 申请（专利权）人： | 蝴蝶网络有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B06B1/02;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/27;H05K3/36 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京桥;杨林森 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于微加工超声换能器的电接触布置。片上超声装置具有包括多个换能器单元的超声换能器基板和电基板。对于每个换能器单元，一个或更多个导电结合连接设置在超声换能器基板与电基板之间。电基板的示例包括CMOS芯片、包括模拟电路的集成电路、中介层和印刷电路板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 超声 换能器 接触 布置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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