[发明专利]一种氢同位素气体的快速配制并检测的一体化装置及方法有效
| 申请号： | 202111048402.5 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113694820B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杜杰;罗文华;王丽萍;寇化秦;谭欣欣;余洋;杨鹏飞;王帅鹏 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | B01F35/83 | 分类号： | B01F35/83;B01F23/10;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 李胜强 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氢同位素气体的快速配制并检测的一体化装置及方法，将高纯氢同位素气体罐、同位素混合气体罐、真空泵、气体质量流量计、气体质量控制器、压力计按照一定的方式组合起来构成氢同位素气体快速配制及检测一体化装置，氢同位素混合气依次通过质量流量计和质量流量控制器，结合高纯同位素气体的在线自动调控，便可将混合气体按要求气量及比例快速注入新组件或工艺系统，混合气体的气量控制、氢同位素比例的检测及调控同时完成；本发明提供的装置及方法可将氢同位素气体按预设的任意气量及比例快速配制，还可对其气量及同位素比例进行实时、在线检测并调控，效率高，成本低，实现自动化操作，且具备自校准功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢同位素 气体 快速 配制 检测 一体化 装置 方法 | ||
【主权项】：
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