[发明专利]检测光学自由曲面反射镜面形的方法及装置有效
| 申请号： | 202111034144.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113776460B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤;王晶;罗霄;李凌众;苏航;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测光学自由曲面反射镜面形的方法，包括步骤：S1、对待测自由曲面反射镜的子孔径区域中心的空间位置进行子孔径规划；S2、通过夏克哈特曼波扫描方法获得所述待测自由曲面反射镜的全口径自由曲面检测的光斑位置；S3、以理想自由曲面面型作为参考面型，根据反射定理获得光斑与微透镜阵列的对应关系，再通过逆向光线追迹方法，获得所述待测自由曲面反射镜的矢高，实现对所述待测自由曲面反射镜的面形检测。本发明的方法可通过计算得到光斑与微透镜阵列的对应关系，增大了检测动态范围，避免了利用斜率重构波前的计算误差，提高了面形检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 光学 自由 曲面 反射 镜面形 方法 装置 | ||
【主权项】：
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