[发明专利]一种冷壁反应器

摘要

本发明公开了一种冷壁反应器，包括冷壁反应器箱体和成品收集箱，所述冷壁反应器箱体的内部安装有石墨坩埚，所述石墨坩埚内盛装有固体原料，所述冷壁反应器箱体的侧壁上贯穿安装有固体原料进料管道、气体原料进料管道、等离子枪，所述固体原料进料管道、气体原料进料管道均延伸至石墨坩埚内且位于上方，所述等离子枪位于石墨坩埚的上方，所述气体原料进料管道内设有通入冷壁反应器箱体内的气体原料，所述冷壁反应器箱体的上端安装有反应器尾气出气口，所述冷壁反应器箱体的底部安装有底部出料管道，所述出料管道通过输送管与收集箱进料管道相连通。本发明节约了能耗、提高了反应温度，可以用于制备纳米硅、碳纳米管、石墨烯等新型纳米材料。