[发明专利]一种太赫兹纳米近场扫描探针及其制作方法在审
| 申请号： | 202111003715.9 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113607977A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 邱付成;王化斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/22 | 分类号： | G01Q60/22 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太赫兹纳米近场扫描探针及其制作方法，属于太赫兹应用技术领域。该探针包括针尖、悬臂和探针底座；所述针尖通过悬臂固定在探针底座上；所述悬臂末端设置有通孔，用于固定针尖；该探针制作方法包括利用电化学腐蚀方法制备纳米针尖，利用聚焦离子束技术在原子力探针悬臂上刻蚀出特定大小的通孔，随后利用聚焦离子束技术及纳米转移技术将特定长度的电化学腐蚀针尖进行切割并转移到悬臂通孔中，最后利用沉积方法将针尖与悬臂进行固定。本发明解决了现有THz纳米扫描探针成品率低，误差范围大，技术复杂及制备工艺要求高等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 纳米 近场 扫描 探针 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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