[发明专利]一种定量控制元素含量梯度变化的高熵合金薄膜及制备方法有效
| 申请号： | 202110998558.3 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113737135B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 黄平;杨玥玥;王飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C14/54;C22C30/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种定量控制元素含量梯度变化的高熵合金薄膜及制备方法，该方法采用磁控溅射同时控制直流电源和射频电源进行溅射，进而控制所需锰元素的溅射沉积速率达到含量梯度连续变化的高熵合金薄膜。该薄膜按照原子百分比为：Cr：20‑24％、Mn：20‑42％、Fe：16‑22％、Co：13‑19％、Ni：10‑13％，其中锰元素含量呈现了大幅连续梯度变化，所有组分的原子百分比之和为100％。该方法得到沿高熵合金薄膜厚度方向Mn元素从20at％到42at％连续梯度变化的样品。本发明可有效预测此含量控制对高熵合金的影响，寻找最优组分，符合高通量实验的设计目标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定量 控制 元素 含量 梯度 变化 合金 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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