[发明专利]一种显影模块及显影方法在审
| 申请号： | 202110998100.8 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113703291A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘耀聪;叶武阳;张耀庚;方小磊;李彦庆 | 申请（专利权）人： | 长春长光圆辰微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/027;H01L21/033 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种显影模块及显影方法，包括S1、旋转晶圆，驱动摆臂支架在第一移动范围内做往复运动，使显影液均匀喷洒到晶圆上后，再喷洒去离子水，完成对晶圆的冲洗，第一移动范围为使显影液的喷洒面的边界分别至少到达晶圆的中心和晶圆的边缘；S2、驱动摆臂支架在第一移动范围内做往复运动的同时匀速喷洒显影液，完成扫描式显影；S3、驱动摆臂支架在第二移动范围内做往复运动，利用二流体喷嘴对晶圆进行清洗后，再利用去离子水，完成对晶圆的冲洗，第二移动范围为使去离子水的喷洒面的边界至少分别到达晶圆的中心和边缘。通过喷洒角度、压力调整以及扫描式喷洒，提高了光刻胶在显影过程中的去除效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 模块 方法 | ||
【主权项】：
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