[发明专利]一种直拉单晶硅微波快速补料连续生产系统及其生产方法有效
| 申请号： | 202110994320.3 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113699584B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 许磊;李航;张利波;韩朝辉;刘建华;巨少华;夏仡;唐治梦;朱知 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆明普发诺拉知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53209 | 代理人： | 葛玉军 |
| 地址： | 650000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉单晶硅微波快速补料连续生产系统及其生产方法，涉及单晶硅生产技术领域。所述生产系统包括相互连接的连续补料装置和单晶硅提拉炉，连续补料装置的炉管设置在壳体内，炉管与壳体之间填充有保温材料，炉管顶部连接有进料仓；炉管呈L型且包括依次连接的熔料管、U型管和导流管，熔料管、导流管、U型管内径依次减小；壳体外侧壁上设置有微波发生器，微波发生器位置与熔料管位置对应，U型管上设置有加热装置，导流管与单晶硅提拉炉顶部设置的进料管连接。通过微波快速加热多晶硅，实现快速熔料；通过U型管和加热装置实现对熔硅的阻断和流通，从而实现按批次熔料补料，实现单晶硅的连续生产，生产效率得到大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 微波 快速 连续生产 系统 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
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