[发明专利]用于密集VCSEL设计的沟槽工艺在审
| 申请号： | 202110991957.7 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN114256741A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | M·撒达卡;D·J·努拉格 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邹丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及用于密集VCSEL设计的沟槽工艺。描述了带沟槽的VCSEL发射器结构。在一个实施方案中，发射器结构包括非均匀分布的发射器的群集，其中每个发射器包括内部台面沟槽，和从该内部台面沟槽延伸的氧化物孔口层的氧化部分。外部壕式沟槽邻近于该内部台面沟槽而定位，并且形成为达到超过该氧化物孔口层的深度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 密集 vcsel 设计 沟槽 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苹果公司，未经苹果公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110991957.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：2-5μm波段级联软玻璃光纤中红外宽光谱激光器
- 下一篇：马达的驱动装置
