[发明专利]一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备在审
| 申请号： | 202110990364.9 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113802187A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李浩;丁丁;魏伟;龚忠苗 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B33/04 | 分类号： | C30B33/04 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紧凑型超高温加热台及设备，该超高温加热台包括安装法兰、两根支撑杆和样品台，每根支撑杆的一端连接样品台，另一端固定在安装法兰上；样品台内置加热源，以对样品台上的样品加热；每根支撑杆的内部中空而形成冷却液通道，样品台内开设有同时连通两个冷却液通道的空腔，两根支撑杆的伸出安装法兰的端部分别为冷却液的进口和出口。本发明的支撑杆兼做水冷管，利用其将样品台固定在安装法兰上的同时，还提供冷却液的传输通道，使得超高温的样品台可以安装在尺寸更小的法兰基座上，有利于提高结构的紧凑性。与此同时，本发明还采用电子束反射聚焦结构，提高了加热效率，实现达到2000K高温指标的同时满足CF35等小尺寸法兰安装的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑型 超高温 加热 高温 设备 | ||
【主权项】：
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