[发明专利]一种晶圆的自动检测装置在审
| 申请号： | 202110989155.2 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113607755A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 胡俊林;孙会民;蔡章华 | 申请（专利权）人： | 厦门柯尔自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 郭涵炜 |
| 地址： | 361103 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 公开了一种晶圆的自动检测装置，包括基座组件，其包括悬臂和底座平台，悬臂设置于底座平台上；双相机显微成像单元可升降地设置于悬臂上；XYθ轴移动平台，包括设置于底座平台上的X、Y轴移动平台和置于其上的补正平台，补正平台包括固定于X、Y轴移动平台上模组安装底板、通过旋转组件可旋转地设置于安装底板上的载台组件和二者之间的多个XYθ轴导向模组，XYθ轴导向模组包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块与驱动装置连接以推动载台组件旋转。该装置可实现快速、高效取像、提高晶圆检测速度和检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
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