[发明专利]一种用于LCD和AMOLED干刻下部电极的再生工艺在审
申请号: | 202110970139.9 | 申请日: | 2021-08-23 |
公开(公告)号: | CN113667919A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 张立祥;赵凯 | 申请(专利权)人: | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C4/02 | 分类号: | C23C4/02;C23C4/01;C23C4/11;C23C4/134;H01J37/32 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 王春丽 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于LCD和AMOLED干刻下部电极的再生工艺,包括以下步骤:S11,将需要再生的电极从干刻设备中拆卸下来;S12,去除电极表面原有陶瓷涂层的表层部分;S13,用遮蔽材料对电极背面和侧面进行遮蔽;S14,对电极表面进行喷砂;S15,用热喷涂方法在电极表面覆上一层陶瓷涂层;S16,完成喷涂后去除S13中的遮蔽材料;S17,对喷涂的陶瓷涂层进行封孔;S18,对电极表面进行加工,使所述电极表面四周形成一个凸起;S19,将电极与干刻设备重新组装。通过本发明中所描述的工艺再生后的干刻下部电极,其表面陶瓷层的绝缘性、致密性、硬度等性能与新品一致,再生后使用寿命可延长至6个月左右,且可重复再生,可显著降低面板厂家采购新品电极的频率,降低其成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 lcd amoled 刻下 电极 再生 工艺 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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