[发明专利]一种碱性溶液去除掩模脏污的方法在审
| 申请号： | 202110968302.8 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113578850A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 华卫群;尤春;杨长华;刘维维;顾梦星;刘浩;汪志得;莫金圻 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;F26B5/08 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 张剑锋 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碱性溶液去除掩模脏污的方法，包括浸泡装置和清洗液，浸泡装置包括缸、花篮、搅棒，清液液的原料组成包括98％的氢氧化钠、去离子水、SPM溶液和SC1溶液，本发明的有益效果如下：通过使用氢氧化钠溶液浸泡掩模，便于掩模表面的脏污泡软，并将脏污剥离掩模表面，解决现有技术中因去胶不彻底产生的脏污无法去除的难点，降低因为脏污导致的产品报废，节约生产成本，缩减产品交付周期，本发明实施简单、方便；花篮内部卡接有掩模，便于卡接三个不同尺寸的掩模；花篮每四分钟上下移动一次，使得浸泡更加充分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱性 溶液 去除 脏污 方法 | ||
【主权项】：
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