[发明专利]一种超低温高真空原子力显微镜系统在审
| 申请号： | 202110955834.8 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113466495A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 龚珍彬;吴文超;张俊彦;周妍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 曹向东 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超低温高真空原子力显微镜系统，该系统包括一体式光纤光光杠杆系统、Z轴升降平台以及内置X轴移动台、Y轴移动台、15微米扫描器的支座。所述支座与所述Z轴升降平台之间设有真空低温直线运动马达；所述Z轴升降平台的一侧设有光杠杆支撑架，另一侧设有Z轴真空低温马达移动限位器，底部与所述支座相连；所述光杠杆支撑架与所述一体式光纤光光杠杆系统相连；所述X轴移动台上设有所述Y轴移动台，该Y轴移动台上设有所述15微米扫描器。本发明具有低噪音、大样品台、多尺度场连用的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超低温 真空 原子 显微镜 系统 | ||
【主权项】：
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