[发明专利]用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和介质在审
| 申请号： | 202110954968.8 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113673197A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 全芯智造技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398;G06T7/00;G06F119/18 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例涉及用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和计算机可读存储介质。用于获取晶圆的工艺窗口的方法包括：基于与晶圆的关键尺寸相关联的第一工艺参数，确定第一工艺参数范围，关键尺寸为晶圆中多个单元的关键尺寸；基于与关键尺寸和图像判定结果相关联的第二工艺参数，确定第二工艺参数范围，图像判定结果指示多个单元中的相应单元的实际图像质量；以及基于第一工艺参数范围和第二工艺参数范围，确定目标工艺窗口。本公开的实施例能够得到优化的工艺窗口，提升工艺窗口的可靠度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 获取 目标 工艺 窗口 方法 设备 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全芯智造技术有限公司，未经全芯智造技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110954968.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
