[发明专利]基于放电出光时间差的激光器状态监控系统及监控方法有效
| 申请号： | 202110953528.0 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113764962B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 梁勖;沈启辉;施阳杰;徐一帆;林颖;邵景珍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/134;G01M11/00 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于放电出光时间差的激光器状态监控系统，能够测量放电信号和出光信号之间的放电出光时间差。基于本发明监控系统，通过固定放电电压，改变腔内气体状态即改变腔内气体的卤素含量，分别测量不同卤素含量所对应的放电出光时间差，从而得到该放电电压下的卤素含量与放电出光时间差之间的函数关系；通过固定腔内气体的卤素含量，改变放电电压，分别测量不同放电电压所对应的放电出光时间差，从而得到该卤素含量下的放电电压与放电出光时间差之间的函数关系；基于卤素含量与放电出光时间差之间的函数关系以及放电电压与放电出光时间差之间的函数关系，通过对腔内气体进行换气以及对放电电压进行调节，从而稳定激光器状态。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 放电 时间差 激光器 状态 监控 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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