[发明专利]一种晶体生长炉的观察窗装置有效
申请号: | 202110942349.7 | 申请日: | 2021-08-17 |
公开(公告)号: | CN113564721B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 王宇;顾鹏;李敏;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 李兴洲 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本说明书实施例提供一种晶体生长炉的观察窗装置,该观察窗装置包括观察窗和框体,其中,观察窗设置于框体上;框体设置于晶体生长炉的侧壁并与晶体生长炉连通,其中,框体的外侧设置至少一个进气口,框体的内侧设置至少两个出气口,至少两个出气口形成的至少两个气流方向间形成预设夹角,以使经由至少两个气流方向形成的至少两股气体在观察窗附近交汇形成气体屏障。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 观察窗 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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