[发明专利]扫描探针显微镜系统在审
| 申请号： | 202110942200.9 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113552390A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 肖章武;赵亮兵;卢孔林;罗永震 | 申请（专利权）人： | 广州中源仪器技术有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 景怀宇 |
| 地址： | 511458 广东省广州市南沙区丰泽东路106号*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统，包括探针架、主机探头、音叉型传感探针、主机底座、测控装置以及光学显微镜系统。主机探头包括探针架安装位。探针架被配置为安装于探针架安装位。音叉型传感探针的针尖与音叉型传感探针的音叉垂直。音叉型传感探针被配置为安装于探针架时，主机探头与音叉型传感探针之间具有一个容置区。主机底座被配置为支撑主机探头，并与主机探头信号连接。测控装置与主机底座信号连接。工作时，光学显微镜系统部分置于容置区。光学显微镜系统与测控装置信号连接。本申请基于音叉型自感应型探针设计了可与光学显微镜系统的联用扫描探针显微镜系统。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 系统 | ||
【主权项】：
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