[发明专利]一种大景深太赫兹成像光学系统在审
| 申请号： | 202110927152.6 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113687520A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王玉建;朱新勇;刘永利;张朝惠;郭永玲 | 申请（专利权）人： | 青岛青源峰达太赫兹科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B27/14;G02B27/00;G01N21/84 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 付丽丽 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市崂山区九水东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大景深太赫兹成像光学系统，其包括太赫兹源、准直透镜、楔形硅片、第一聚焦透镜、被测样品、第二聚焦透镜和太赫兹探测器，沿着太赫兹源发出的太赫兹波传播方向依次设置准直透镜、楔形硅片、第一聚焦透镜和被测样品，楔形硅片下表面与太赫兹源光轴夹角为45°，被测样品反射的太赫兹波沿原路返回至楔形硅片处在下表面发生一次反射，其传播方向旋转90°与太赫兹源的光轴垂直，第二聚焦透镜和太赫兹探测器沿一次反射的太赫兹波的传播方向依次设置。与传统斜入式光学系统相比，光学系统景深增加，可以达到±5～10mm；且可以有效的排除硅片的二次反射峰，从而避免二次反射峰对于测试结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 景深 赫兹 成像 光学系统 | ||
【主权项】：
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