[发明专利]一种超薄材料蚀刻装置在审
| 申请号： | 202110918298.4 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113529083A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 田爱民 | 申请（专利权）人： | 昆山元天电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H05K3/06 |
| 代理公司： | 苏州汉东知识产权代理有限公司 32422 | 代理人： | 葛娟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄材料蚀刻装置，包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻。本发明通过喷淋机构进行喷淋，蚀刻完一面再蚀刻另一面，无残留蚀刻液存留，提高了蚀刻精度；本发明通过料卷传送机构可以使得蚀刻材料能够具有承托的进入至第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内进行蚀刻，不会出现起皱现象，蚀刻均匀；此外，本发明提供的蚀刻装置无需夹板夹持，不会导致待蚀刻材料的张力不均匀，因此蚀刻均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 材料 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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