[发明专利]静压轴承主轴的回转精度测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 202110913783.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113702039A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王军华;田雨涵;高铭锷;王施相;徐敏 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01M13/04 | 分类号： | G01M13/04;G01B11/02 |
| 代理公司： | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人： | 李锋 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静压轴承主轴的回转精度测量系统及测量方法，该测量系统包括：标准球，标准球固定在一个静压轴承主轴上，实现随静压轴承主轴的同轴运动；光学测量系统；数据处理系统，静压轴承主轴旋转时，同时光学测量系统对标准球的外轮廓进行位移量采集，采集到的位移数据传到数据处理系统中，进行误差分离的计算。本发明通过激光外差干涉与共焦显微系统相结合的方式，对静压轴承主轴回转误差进行测量，并通过三点法实现误差分离，不仅通过高灵敏度的光学测量系统采集到更高精度的回转位移量，提高了静压轴承主轴回转测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 轴承 主轴 回转 精度 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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