[发明专利]原位监测控制光波导器件温度和光功率的系统和方法有效
申请号: | 202110908898.2 | 申请日: | 2021-08-09 |
公开(公告)号: | CN113639795B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 胡小龙;张子彧;王昭;邹锴 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G05D23/20 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 李林娟 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种原位监测控制光波导器件温度和光功率的系统和方法,系统包括:CLIPP通过测量光波导在不同频率的导纳变化量,联立不同测试频率下的函数关系同时原位监测集成光波导器件的光功率、温度;反馈控制电路根据信号读出电路得到的导纳变化量反馈控制集成光波导器件温度和光功率。方法包括:选取多个驱动频率,分别拟合温度、光功率与导纳变化量的二元函数关系;读取驱动频率下的CLIPP的导纳变化量,反推出集成光波导器件的温度和光功率;利用信号读出电路得到的集成光波导器件温度和光功率,PID调节器反馈调节温度控制器提供给TEC的电流以及激光器的输出光功率,调整集成光波导器件的温度和光功率至设定值。 | ||
搜索关键词: | 原位 监测 控制 波导 器件 温度 功率 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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