[发明专利]一种光控全无机EWOD器件有效
| 申请号： | 202110907862.2 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113634293B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 周嘉;刘恩清;刘安 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光控全无机EWOD器件，包括：衬底以及由下往上依次设置于衬底上的无机光导电层、无机介质层和超疏水表面层，其中，无机光导电层的两端刻蚀有偏置电极。本发明利用具有光电导效应的无机材料作为虚拟电极代替像素化电极，利用高介电常数无机材料作为介质层，利用无机材料制作微纳结构作为超疏水表面，可以实现对EWOD器件的优化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光控 无机 ewod 器件 | ||
【主权项】：
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