[发明专利]一种基于有机无机混合集成的4×4光开关阵列有效

专利信息
申请号: 202110906473.8 申请日: 2021-08-09
公开(公告)号: CN113625392B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 阎冠文;张大明;尹悦鑫;王春雪;许崇前;李悦 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: G02B6/12 分类号: G02B6/12;G02B6/35
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 代理人: 刘世纯;王恩远
地址: 130012 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种基于有机无机混合集成的4×4光开关阵列,属于光通信。沿光的传播方向,由第I、第II、第III、第IV和第V组2×2光开关单元组成;每个2×2光开关单元由前、后两个耦合区和中间连接的两根长度为L的直波导构成,其中一根直波导作为调制臂,通过改变调制臂的温度使两根直波导间产生温度差,从而使波导内部传输光的相位发生改变。从下至上,是由Si衬底、带有矩形凹槽型结构的SiO2下包层、填充在矩形凹槽内的SU‑8 2002波导芯层、PMMA上包层组成。该4×4开关阵列可以通过对于不同调制臂的调制实现每个输入端口到每个输出端口的通光,且工作在各状态下的损耗均为0.07dB以下。
搜索关键词: 一种 基于 有机 无机 混合 集成 开关 阵列
【主权项】:
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