[发明专利]一种微型压电厚膜振子在审
| 申请号： | 202110905446.9 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113783469A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王大志;宗浩然;赵奎鹏;袁钰恒;李岩;蒋朝阳;王伦翔 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;大连理工大学宁波研究院 |
| 主分类号： | H02N2/12 | 分类号： | H02N2/12;H02N2/04 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 苗青 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 压电 厚膜振子 | ||
【主权项】：
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