[发明专利]一种基于原子力显微镜的极低流速测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110891649.7 申请日: 2021-08-04
公开(公告)号: CN113687106A 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 刘志坚;于巽飞;吴天泽;孟美琳;隋卓航;潘新祥 申请(专利权)人: 大连海事大学
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01B11/16;G01P5/00
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 修睿;李洪福
地址: 116026 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供一种基于原子力显微镜的极低流速测量装置和方法。本发明包括原子力显微镜、激光发射器、四象限光电探测器和流动装置,流动装置用于模拟极低流速液体的流动,原子力显微镜的长臂探针能够接触流体以测量流体速度,激光发射器用于发射激光,四象限光电探测器用于检测经悬臂梁反射后的激光。本发明利用原子力显微的长臂探针,将探针伸入到流体内部,从而受到流动的阻力,带动悬臂产生扭转变形,扭转变形被四象限光电探测器记录下,实现了对极低流速流体速度的测量。此方法能通过感受流体的微弱作用力来测量极低流速流体的流速,不会对被测流体的波动产生较大的影响,可以在几乎不影响流体流动的情况下达到非常高的灵敏度。
搜索关键词: 一种 基于 原子 显微镜 流速 测量 装置 方法
【主权项】:
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