[发明专利]一种提高铜片氧化层均匀性的氧化炉有效
申请号: | 202110871999.7 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113606935B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 许海仙;张振文;张洋;史常东 | 申请(专利权)人: | 合肥圣达电子科技实业有限公司 |
主分类号: | F27B9/24 | 分类号: | F27B9/24;F27B9/30;F27B9/36;F27B9/38;F27B9/40 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 谢中用 |
地址: | 230088 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明陶瓷覆铜板技术领域,公开了一种提高铜片氧化层均匀性的氧化炉,包括:炉体,包括分别设置在炉体两端的进料口和出料口,进料口和出料口处设置有密封气帘;传送带,用于输送铜片,由进料口到出料口贯穿炉体;多个热电偶,正对传送带安装在炉体内,且沿传送带输送方向依次排布;供氧管道;多个弥散气盒,沿传送带输送方向在炉体内排布,分别与供氧管道连通且在连通处设置有用于控制炉体内气体浓度、流速、流向的气阀;测温热电偶和测氧仪,设置在弥散气盒靠近传送带的一侧;保证了铜片氧化环境的稳定,使铜片表面氧化膜厚度均一。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 铜片 氧化 均匀 | ||
【主权项】:
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