[发明专利]校准方法在审
| 申请号： | 202110871542.6 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114061444A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 奈良正之 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种校准方法，包括以下步骤：将待测量结构放置在第一位置处；测量从激光干涉仪(16)到反射体(15)的第一距离，并测量待测量体(14)的第一坐标；使待测量结构移动到第二位置；在待测量结构在第二位置处的状态下，测量从激光干涉仪(16)到反射体(15)的第二距离，并利用坐标测量设备(S)测量待测量结构的第二坐标；确定基准仪器(P)的尺度误差；安装基准仪器(P)；测量待测量物体(A1、A2)之间的间隔；以及计算待测量物体(A1、A2)之间的间隔的校准值。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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