[发明专利]大口径透镜轮廓检测装置及检测方法有效
申请号: | 202110864997.5 | 申请日: | 2021-07-29 |
公开(公告)号: | CN113587845B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 安其昌;吴小霞;林旭东;刘欣悦;王建立;陈涛;王越 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提出了一种大口径透镜轮廓检测装置,包括:测量扫描模块、自准直模块、成像模块、处理模块。测量扫描模块包括相机、机械臂、扫描单元、转台;相机与机械臂固定连接,机械臂带动扫描单元对位于旋转台上的待测透镜进行扫描,获取待测透镜不同点对应的表面信息;自准直模块包括自准直仪、与机械臂固定连接的平面镜,用于对机械臂的往复移动进行准直;自准直仪发出准直光束至平面镜,利用平面镜反射的光束与准直光束的偏移量对机械臂进行准直;成像模块用于接收测量扫描模块扫描形成的待测透镜的表面信息。本发明所提供的大口径透镜轮廓检测装置及检测方法能够实现实时检测待测透镜表面;不存在误差累积,检测精度高。 | ||
搜索关键词: | 口径 透镜 轮廓 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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