[发明专利]一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导

摘要

本发明涉及一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导，属于纳米器件技术领域。以硅片作为衬底，在衬底上沉积钛金属层、铜金属层和金金属层，通过刻蚀锗牺牲层，利用不同金属层间的内在应力作用，触发钛、铜、金金属层自卷曲，从而实现二维到三维的过渡，形成自卷曲的微纳米管。微纳米管的内径为微米级，圆波导工作频率为太赫兹波段。本发明所制成的片上圆波导结构小型化，纳米薄膜的微纳米管结构提供了优越的结构性能，具有较高的导电性能和电荷的传输效率；本发明的制作方法易于操作，成本更低，可批量生产。