[发明专利]一种光学滤光片镀膜方法有效
| 申请号： | 202110851765.6 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113584448B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 王鹏涛;崔户丹 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710018 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学滤光片镀膜方法，采用双面磁控溅射镀膜设备，在镀膜支架上沿周向安装多个基片，在镀膜支架上方和下方分别设置上靶材和下靶材，在上靶材与镀膜支架之间和下靶材与镀膜支架之间均设置膜厚补偿结构以对上靶材和下靶材部分遮挡，旋转镀膜支架，利用上靶材和下靶材在基片两面同时进行镀膜，得到光学滤光片。本发明实现基片两面同时镀膜，同时，可满足批量加工，实现大口径基片整面分光的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 滤光 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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