[发明专利]一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网在审
| 申请号： | 202110839983.8 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113467200A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王艳良;李鑫 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 张佑富 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，包括筛网本体，所述筛网本体中部设有凸形区域。本发明与现有技术相比的优点是：本发明通过重新设计离子筛网的机械形状，达到均匀性的提高，有利于控制晶圆中心的去胶速率；同时，这种离子筛网还可以翻转180度进行装配，适用于那些原本晶圆中心去胶速率较慢的场合，使得工艺调整更加容易。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 等离子体 灰化 工艺 均匀 离子 筛网 | ||
【主权项】：
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