[发明专利]一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110833015.6 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113654994B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 刘言军;岑梦嘉 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/19 | 分类号： | G01N21/19;G02B5/00 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人： | 齐胜杰 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构的制备方法，步骤为：S1、在氮化硅薄膜窗口的上下层涂布电子束胶，烘干；S2、在电子束胶上涂布导电胶，烘干；S3、采用电子束光刻写入由若干旋转对称图形单元组成的阵列，并显影；所述电子束是从氮化硅薄膜窗口的上层穿透至氮化硅薄膜窗口的下层；S4、显影完毕后，在氮化硅薄膜窗口的上下层蒸镀金属材料；S5、蒸镀完成后，对电子束胶进行剥离和冲洗，得到悬浮超薄三维双层手性超表面。本发明采用单次电子束光刻制备悬浮双层超表面结构的方法，大大简化了传统双层超表面的制备过程。所述悬浮超薄三维双层手性超表面结构的上下侧的金属块均可接触手性分子溶液，将大幅提高手性分子检测的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 超薄 三维 双层 手性 表面 结构 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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