[发明专利]高温电化学测试系统

摘要

本发明公开了高温电化学测试系统。该系统包括电化学测试仪器、底座、样品测试腔、支撑测试装置和高温炉，样品测试腔通过密封法兰与底座上可拆卸相连；支撑测试装置伸入样品测试腔内，其样品支撑台一端经金属支架与密封法兰相连，另一端设有铂片，探针臂一端经弹簧固定在金属支架上，另一端经金属探针与待测样品接触，利用弹簧拉力和铂片实现样品固定，探针和铂片分别与待测样品的图案电极和对电极接触并通过导线将测试信号输出，高温炉炉体经金属屏蔽层间隔套设在样品测试腔外并适于通过炉架带动样品测试腔沿滑轨滑动。该系统能对样品进行均匀加热，实现在高温和变化的气体环境下精确、方便、高效地测试薄膜样品的高温电化学性能。