[发明专利]一种可调节探针卡装置的对针方法在审
| 申请号： | 202110820454.3 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113419091A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 范长旭 | 申请（专利权）人： | 范长旭 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置的对针方法，包括以下步骤：步骤a探针复位；步骤b探针定位；步骤c探针调整；在探针单元阵列的外侧转动移动磁体，移动磁体沿一圆周移动，该圆周的圆心位于探针单元阵列中心，且在移动时移动磁体的一磁极保持指向探针单元阵列中心，探针单元的固定磁体被移动磁体吸引并随之转动，带动探针单元的探针体转动，探针体通过其与探针帽的螺纹连接，使探针单元阵列内的探针下端高度改变，能够实现对探针卡的探针高度方向上进行对针，同时能够用于探针与晶圆接触后，探针高度方向上的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 探针 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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