[发明专利]一种精度高的真空微电子电场传感器有效
| 申请号： | 202110811724.4 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113419117B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 向美华 | 申请（专利权）人： | 江苏浦丹光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/14 | 分类号： | G01R29/14;G01R29/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李新林 |
| 地址： | 226500 江苏省南通市如皋*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精度高的真空微电子电场传感器，包括检测仪和放置组件，所述放置组件由顶盖和底盖组成所述顶盖和底盖组成的球形空间内设置有支撑架，所述支撑架上设置有若干静电感应组件，所述支撑架由中心球和若干定位杆组成，所述中心球的外壁设置有数量均为二的Z轴杆、Y轴杆和X轴杆，所述静电感应组件由远极板、近极板、弯杆和爪盘组成，两个所述远极板分别通过连接线电性连接于检测仪两端的开关上，同一轴线上的两个近极板之间通过中段线进行连接。本发明通过电压检测机构检测各位于三维坐标轴上的远极板上的电压值，以此得到三维坐标数值，相比于传统装置，本发明可以快速测出电场在三维空间中的分布，误差小，精度高，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精度 真空 微电子 电场 传感器 | ||
【主权项】：
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