[发明专利]一种深紫外线电催化辅助磁流变弹性体平整装置及方法在审
| 申请号： | 202110798072.5 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113386045A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王永强;陈扬帆;花乐乐;黄超;唐赛 | 申请（专利权）人： | 南华大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10;B24B37/14;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/16 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 李发军;马强 |
| 地址： | 421001 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种深紫外线电催化辅助磁流变弹性体平整装置及方法。所述抛光装置包括抛光盘、第一驱动机构；所述抛光盘上方设有磁流变弹性体抛光机构和喷嘴；所述抛光盘上表面开设有多个光源槽，该光源槽内设有深紫外线光源，在深紫外线光源上方设有氧化镓晶体夹持机构；所述喷嘴设置在夹持机构的侧上方；所述磁流变弹性体抛光机构包括工具轴和抛光工具头、以及第二驱动机构；所述工具轴通过导线和电刷与所述抛光盘连接。通过本发明的抛光装置对氧化镓晶片实施高效、超光滑、无损抛光，可以获得亚纳米级粗糙度的无损表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 外线 电催化 辅助 流变 弹性体 平整 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南华大学，未经南华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110798072.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
